Niên hiệu Tiên Thiên năm thứ hai, ngày mùng 1 tháng 7, Sư bảo cùng môn đồ:"Ta muốn về Tân Châu, các ông mau chuẩn bị thuyền". Lúc ấy, mọi người buồn bã quyến luyến cầu xin sư ở lại. Sư nói:" Chư Phật ra đời vẫn phải thị hiện vào Niết-bàn. Có đến ắt có đi, lẽ thường là vậy. Hình hài này của ta tất cũng phải có chỗ quay về". Chúng nói:"Sư ra đi, xin mau mau trở lại". Sư đáp:" Lá rụng về cội, ngày trở lại không nói được". Chúng lại hỏi: "Pháp nhãn của thầy, truyền lại cho người nào?" Sư nói:"Có đạo thì được, vô tâm thì thông". Chúng hỏi: "Sau này có nạn gì không?" Sư nói: "Sau khi ta tịch diệt năm sáu năm, sẽ có người đến lấy đầu ta!". Rồi nói: khi ta tịch diệt 70 năm sẽ có hai Bồ-tát từ phương Đông tới, một tại gia, một xuất gia. Cả hai cùng dựng lập pháp ta, làm hưng thạnh tông phái ta! (tức là Thiền sư Mã Tổ Đạo Nhất và cư sĩ Bàng Long Uẩn sau này)

Ngày mùng 3 tháng 8 năm ấy, sư đến chùa Quốc Ân ở Tân Châu, tắm rửa xong vào ngồi xếp bằng an nhiên thị tịch. Ngày 13 tháng 11, mọi người cùng đưa sư đến nhập tháp tại nơi này, thọ 76 tuổi. Vua Đường Hiến Tông thụy tặng sư là Đại Giám Thiền Sư. Tháp hiệu Nguyên Hòa Linh Chiếu.